岗位职责1、主导12英寸立式中高温氧化炉（如THEORIS X302系列1）的气路设计、热场仿真及反应室优化，解决颗粒污染控制（如流化床立式炉的悬浮颗粒管理技术6）和晶圆传输效率问题；2、开发立式炉工艺（如氧化、退火、CVD沉积35），完成设备调试与工艺验证；3、 协同跨部门完成半导体设备（如碳化硅单晶生长炉7）的工程化落地。岗位要求：1、具备12吋立式炉设备开发经验；2、对立式炉气路、反应室，热场，颗粒污染控制、高效晶圆传输等关键技术系统部件和立式炉工艺有开发经验者优先；3、解决12吋立式炉工艺应用、调试等问题。